Μικροσυστήματα και Νανοτεχνολογία
| Κωδικός | 9.4.3378.9 |
|---|---|
| Εξάμηνο | 9o |
| Ροή | Η - Ηλεκτρονική-Κυκλώματα-Υλικά |
| Κατηγορία | Κατ' επιλογήν υποχρεωτικό |
| Ώρες Διδασκαλίας - Ώρες Εργαστηρίου | 2 - 2 |
| Διδάσκοντες | Δημήτριος Τσουκαλάς (Σχολή ΕΜΦΕ) |
Περιγραφή
Ορισμοί και παραδείγματα μικροσυστημάτων. Σχέση μεταξύ μικροηλεκτρονικής, μικρο-οπτικής και μικρο-ηλεκτρομηχανικής τεχνολογίας. Τεχνολογία και φυσικά μοντέλα διαδικασιών επεξεργασίας πυριτίου: Θερμικές διεργασίες και διαδικασίες νόθευσης, εναπόθεση λεπτών στρωμάτων, οπτική λιθογραφία και λιθογραφία ηλεκτρονικής δέσμης, εγχάραξη με πλάσμα. Απαιτήσεις νανοηλεκτρονικής τεχνολογίας και εξέλιξη των διεργασιών για έλεγχο στην νανοκλίμακα. Βασικά χαρακτηριστικά και φυσικές αρχές λειτουργίας αισθητήρων. Διαδικασίες μικρομηχανικής: επιφανειακή μικρομηχανική και μικρομηχανική όγκου. Παραδείγματα ολοκληρωμένης κατασκευής και λειτουργίας φυσικών και χημικών αισθητήρων. Βιοαισθητήρες και lab-on-chip. Από την μικροτεχνολογία στην νανοτεχνολογία. Μέθοδοι κατασκευής στην νανοκλίμακα, προσεγγίσεις top-down και bottom-up. Νανομετρολογία. Κατασκευή και κβαντικές ιδιότητες νανοσωματιδίων και νανονημάτων και εφαρμογές τους σε αισθητήρες.